Versionen fra 18. apr. 2007, 12:30 redigér Chobot (diskussion \| bidrag) 12.597 edits m robot Tilføjer: ko:MEMS ← Gå til forrige forskel		Versionen fra 25. apr. 2007, 09:23 redigér fjern redigering Nico (diskussion \| bidrag) Administratorer 123.907 edits m exit henv. til slettet billede Gå til næste forskel →
Linje 1: ~~[[Billede:Nanogearandbug.jpg\|thumb\|right\|275px\|En [[husstøvmide]] kravler forbi et [[gear]] bestående af seks små [[tandhjul]] produceret med MEMS-teknologi.]]~~ '''MEMS''' er en forkortelse for '''Micro Electro-Mechanical Systems''' eller på dansk '''Mikro Elektro-Mekaniske Systemer'''. Som navnet antyder er der tale om systemer med både en mekanisk og elektrisk funktion, og systemets dimensioner måles i [[mikrometer]]. Når der yderligere inkluderes optiske egenskaber taler man om '''MOEMS'''.

MEMS: Forskelle mellem versioner