MEMS: Forskelle mellem versioner

Content deleted Content added
Kraftig udvidelse
en mikrometer tynd bjælke -> en mikrometertynd bjælke [eller: en 1 mikrometer tynd bjælke?]
Linje 3:
MEMS systemer kan ses som en udvidelse af almindelig [[mikroelektronik]], der sidder i stort set alle moderne elektriske apparater. De elektriske kredsløb kendt fra mikroelektronik kombineres med mekaniske elementer som bjælker (eng. ''cantilevers''), mikroskopiske tandhjul, spidser der virker som kanyler mm. Derkan desuden tilføjes optisk påvirkning eller aflæsning, typisk med [[laser]]e, der guides rundt i systemet i mikroskopiske [[bølgeleder]]e efter samme princip som [[lysleder]]e. Endelig kan man integrere mikroskopiske væskekanaler til håndtering af væsker (''mikrofluid systemer''), som f.eks. blod eller kemiske reagenser.
 
Et eksempel på en simpel (og allerede kommercialiseret) MEMS sensor er en [[airbag]] sensor til en bil. Denne sensor skal overvåge bilens acceleration og give et signal når airbag'en skal affyres. Den kan fremstilles ved anvendelse af [[silicium teknologi]]. Sensoren kan bestå af en mikrometer tyndmikrometertynd bjælke med en lille prøvemasse på enden af bjælken. Når bilen accelererer bøjes bjælken, og dette registreres elektrisk ved hjælp af nogle små piezo-modstande, der er indlejret i bjælken. Piezo-modstande har den egenskab at de ændrer modstand når de strækkes.
 
MEMS tillægges et stort potentiale, især inden for de såkaldte [[Lab-on-a-Chip]] systemer (også kendt som ''[[Micro Total Analysis Systems]]''), hvor målet er at miniaturisere en kemisk analyse på en [[mikrochip]]. Dette har den store fordel at der skal bruges langt mindre mængder prøvemateriale til analysen, at analysen kan udføres langt hurtigere, og at analysen kan udføres hos den praktiserende læge på en brug-og-smid-væk chip, uden ventetid.